文 平悅

　　5月19日，長(zhǎng)江存儲(chǔ)終于盼來(lái)了自己的首臺(tái)光刻機(jī)。當(dāng)天中午，這臺(tái)價(jià)值7200萬(wàn)美元、比黃金還金貴的設(shè)備，運(yùn)抵了武漢天河機(jī)場(chǎng)。這臺(tái)來(lái)自全球最大的芯片設(shè)備制造商——荷蘭阿斯麥公司（ASML）的大家伙的到來(lái)，被外界看做中國(guó)芯片技術(shù)的重要突破。

　　好消息不止一個(gè)。就在幾天前，據(jù)《日經(jīng)亞洲評(píng)論》15日援引消息人士的話稱，中國(guó)芯片加工企業(yè)中芯國(guó)際（SMIC）也與同一家企業(yè)——荷蘭阿斯麥公司訂購(gòu)了其首臺(tái)最先進(jìn)的EUV（極紫外線）光刻機(jī)，價(jià)值1.2億美元。消息稱，這臺(tái)幾乎相當(dāng)于中芯國(guó)際去年全部?jī)衾麧?rùn)的設(shè)備，將于2019年初交付。

　　5月19日，長(zhǎng)江存儲(chǔ)首臺(tái)光刻機(jī)運(yùn)抵武漢天河機(jī)場(chǎng)。

　　光刻機(jī)為何物？

　　光刻機(jī)為何物？為何如此金貴？

　　香港《明報(bào)》5月22日?qǐng)?bào)道稱，光刻機(jī)（又稱曝光機(jī)）是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，其作用是掃描曝光芯片晶圓，刻蝕集成電路。制造和維護(hù)需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎(chǔ)，世界上只有少數(shù)廠家掌握。因此光刻機(jī)的價(jià)格昂貴，通常在3000萬(wàn)至5億美元不等。目前，雖然尼康、佳能等對(duì)手都在勉力競(jìng)爭(zhēng)，但是自飛利浦獨(dú)立的阿斯麥公司掌握了90%以上的高端光刻機(jī)市場(chǎng)份額。精度愈高的光刻機(jī)，能生產(chǎn)出納米尺寸愈小、功能更強(qiáng)大的芯片。

　　世界最新最先進(jìn)的兩代高端光刻機(jī)領(lǐng)域，即浸入式（Immersion）和極紫外線式（EUV）光刻機(jī)，全部由阿斯麥掌握核心技術(shù)。報(bào)道稱，小于5納米的芯片晶圓，目前只能用EUV光刻機(jī)生產(chǎn)。三星電子和臺(tái)積電目前正競(jìng)爭(zhēng)生產(chǎn)7納米工藝技術(shù)芯片，這兩家都訂購(gòu)了阿斯麥公司的EUV光刻機(jī)。目前，蘋(píng)果iPhone X和iPhone 8系列的核心處理器芯片，采用的是臺(tái)積電10納米工藝技術(shù)，而今年即將推出的新款iPhone將使用7納米工藝技術(shù)。

　　由此可知，擁有光刻機(jī)對(duì)芯片工藝的實(shí)現(xiàn)有著決定性的影響。

荷蘭阿斯麥公司廠區(qū)。（法新社）

　　不斷補(bǔ)足芯片量產(chǎn)短板

　　目前，在芯片技術(shù)的研發(fā)上中國(guó)已經(jīng)有了飛速進(jìn)展，但在制造量產(chǎn)上還是短板。這兩臺(tái)光刻機(jī)的引進(jìn)將大大提高中國(guó)在芯片制造工藝上的水平。

　　據(jù)悉，19日運(yùn)抵的光刻機(jī)只是長(zhǎng)江存儲(chǔ)的首臺(tái)光刻機(jī)，陸續(xù)還會(huì)有多臺(tái)運(yùn)抵。報(bào)道稱，該設(shè)備在相關(guān)的海關(guān)、商檢及邊防口岸的相關(guān)手續(xù)辦理完成后，即可運(yùn)至長(zhǎng)江存儲(chǔ)的工廠，可用于14-20納米工藝。這也從側(cè)面透露了長(zhǎng)江存儲(chǔ)3D NAND閃存芯片的工藝制程。

　　根據(jù)長(zhǎng)江存儲(chǔ)官網(wǎng)的介紹，2016年，紫光集團(tuán)與國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金、湖北科投等合資成立了長(zhǎng)江存儲(chǔ)，注冊(cè)資本額為人民幣386億元。當(dāng)年，長(zhǎng)江存儲(chǔ)啟動(dòng)了位于武漢的國(guó)家存儲(chǔ)器基地的建設(shè)。2017年9月，項(xiàng)目一期的一號(hào)生產(chǎn)及動(dòng)力廠房提前封頂，2018年4月11日，首批價(jià)值400萬(wàn)美元的芯片生產(chǎn)機(jī)正式進(jìn)場(chǎng)安裝。這標(biāo)志著國(guó)家存儲(chǔ)器基地從廠房建設(shè)階段進(jìn)入量產(chǎn)準(zhǔn)備階段，中國(guó)首批擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的32層三維NAND閃存芯片將于年內(nèi)量產(chǎn)。

　　目前，長(zhǎng)江存儲(chǔ)的32層堆疊3D NAND閃存已經(jīng)開(kāi)始試產(chǎn)，不少產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)都拿到了樣片測(cè)試，預(yù)計(jì)今年第四季度量產(chǎn)。另外據(jù)日本經(jīng)濟(jì)新聞今年2月22日?qǐng)?bào)道，蘋(píng)果正在與長(zhǎng)江存儲(chǔ)進(jìn)行談判，以購(gòu)買其生產(chǎn)的NAND閃存芯片。據(jù)分析蘋(píng)果首先將僅在面向中國(guó)國(guó)內(nèi)的產(chǎn)品中采用。多名知情人士透露了上述消息。蘋(píng)果討論采用用于保存電子設(shè)備數(shù)據(jù)的NAND型閃存。蘋(píng)果對(duì)半導(dǎo)體的品質(zhì)要求很高，不少觀點(diǎn)認(rèn)為實(shí)際采用要到2020年之后。

　　如果能夠和蘋(píng)果這樣的巨頭簽訂大單，對(duì)于長(zhǎng)江存儲(chǔ)來(lái)說(shuō)，將是一個(gè)巨大的好消息。對(duì)中國(guó)而言，這個(gè)交易也將有助于減少對(duì)外國(guó)芯片供應(yīng)的依賴，因而愿意大舉投資。另?yè)?jù)紫光集團(tuán)全球執(zhí)行副總裁暨長(zhǎng)江存儲(chǔ)執(zhí)行董事長(zhǎng)高啟全披露：長(zhǎng)江存儲(chǔ)的3D NAND Flash已經(jīng)獲得第一筆訂單，總計(jì)10776顆芯片，將用于8GB USD存儲(chǔ)卡產(chǎn)品。他在接受采訪時(shí)強(qiáng)調(diào)：“這僅是剛剛開(kāi)始”。

　　而對(duì)于中國(guó)內(nèi)地規(guī)模最大、技術(shù)最先進(jìn)的芯片制造企業(yè)，成立于2000年的中芯國(guó)際購(gòu)買光刻機(jī)的舉動(dòng)也引發(fā)關(guān)注。據(jù)日經(jīng)亞洲評(píng)論報(bào)道，據(jù)消息人士透露，中芯國(guó)際是在美國(guó)4月份對(duì)中興通訊制裁后下達(dá)的訂單。報(bào)道稱，盡管中芯國(guó)際在這一市場(chǎng)仍落后于市場(chǎng)領(lǐng)先者兩至三代技術(shù)，但是購(gòu)買到目前世界最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，彰顯了其努力追趕的決心。據(jù)了解在2017年3月，中芯國(guó)際宣布將進(jìn)軍7納米工藝技術(shù)的研發(fā)。而EUV光刻機(jī)則是現(xiàn)今唯一能夠生產(chǎn)7納米以下的設(shè)備，因此，其也被稱為“突破摩爾定律的救星”。

中芯國(guó)際集成電路制造（北京）有限公司的工作人員在車間內(nèi)忙碌。（新華社）

　　光刻機(jī)到底對(duì)中國(guó)禁不禁售？

　　物以稀為貴，作為世界上唯一能夠制造EUV光刻機(jī)的廠商，并且產(chǎn)量極低，阿斯麥全部產(chǎn)能早在生產(chǎn)之前就被預(yù)訂一空。根據(jù)《日經(jīng)亞洲評(píng)論》提供的數(shù)據(jù)，今年，臺(tái)積電已經(jīng)向阿斯麥訂購(gòu)接近10臺(tái)EUV光刻機(jī)，三星約為6臺(tái)，英特爾為3臺(tái)。而阿斯麥在4月中旬舉行的財(cái)報(bào)會(huì)議上公開(kāi)稱，今年計(jì)劃有20臺(tái)EUV光刻機(jī)交付，但并沒(méi)有說(shuō)明訂單詳情。

　　由于《瓦森納規(guī)定》的存在，阿斯麥公司接連對(duì)中國(guó)企業(yè)接單，引發(fā)一些質(zhì)疑。《瓦森納協(xié)定》又稱瓦森納安排機(jī)制，全稱為《關(guān)于常規(guī)武器和兩用物品及技術(shù)出口控制的瓦森納協(xié)定》，目前共有包括美國(guó)、日本、英國(guó)、俄羅斯等42個(gè)成員。盡管“瓦森納安排”規(guī)定成員國(guó)自行決定是否發(fā)放敏感產(chǎn)品和技術(shù)的出口許可證，并在自愿基礎(chǔ)上向“瓦森納安排”其他成員通報(bào)有關(guān)信息。但“安排”實(shí)際上完全受美國(guó)控制。而中國(guó)、朝鮮、伊朗、利比亞等國(guó)均在被限制國(guó)家名單之中。當(dāng)“瓦森納安排”某一國(guó)家擬向中國(guó)出口某項(xiàng)高科技技術(shù)時(shí)，美國(guó)甚至直接出面干涉，如捷克擬向中國(guó)出口“無(wú)源雷達(dá)設(shè)備”時(shí)，美便向捷克施加壓力，迫使捷克停止這項(xiàng)交易。

　　此前曾有一種說(shuō)法，認(rèn)為最高端的光刻機(jī)技術(shù)受到《瓦森納協(xié)定》影響，被禁止向中國(guó)大陸出售。然而，阿斯麥公司發(fā)言人則對(duì)《日經(jīng)亞洲評(píng)論》表示，該企業(yè)對(duì)包括中國(guó)客戶在內(nèi)的全球客戶都一視同仁。而且，向中國(guó)出售EUV光刻機(jī)并沒(méi)有違反《瓦森納協(xié)定》。

　　事實(shí)上，從中芯國(guó)際的官網(wǎng)可以了解到，中芯國(guó)際早在2014年10月27日，已經(jīng)與阿麥斯公司簽訂過(guò)一份光刻設(shè)備批量購(gòu)買協(xié)議。這份批量購(gòu)買訂單價(jià)值近4.5億歐元。阿斯麥總裁兼CEO彼得·溫尼克（Peter Wennink）在當(dāng)時(shí)就表示：“中國(guó)對(duì)我們來(lái)說(shuō)，是很重要的市場(chǎng)。通過(guò)這個(gè)協(xié)議，我們希望能在中國(guó)客戶中增加市場(chǎng)份額，占穩(wěn)一席之地�！�

　　2017年10月，阿斯麥中國(guó)區(qū)總裁金泳璇在接受臺(tái)灣《電子時(shí)報(bào)》的采訪時(shí)也表示，阿斯麥對(duì)大陸芯片廠與國(guó)際客戶一視同仁，只要客戶下單，EUV要進(jìn)口到中國(guó)完全沒(méi)有任何問(wèn)題。在交期方面，所有客戶也都完全一致，從下單到正式交貨，均為21個(gè)月。金泳璇當(dāng)時(shí)就曾透露，目前已有大陸芯片廠巨頭與阿斯麥展開(kāi)7納米工藝制程的EUV訂單洽談，2019年大陸首臺(tái)EUV可望落地。而這對(duì)中國(guó)芯片廠來(lái)說(shuō)無(wú)疑是一個(gè)好消息。

　　臺(tái)灣“中央社”稱，從2019年半導(dǎo)體芯片將進(jìn)入7納米時(shí)代開(kāi)始（現(xiàn)在處于10納米時(shí)代），EUV光刻機(jī)可以被稱為戰(zhàn)略性設(shè)備，沒(méi)有它就會(huì)使芯片制造寸步難行。

阿斯麥公司生產(chǎn)的光刻機(jī)。（阿斯麥官網(wǎng)）

　　芯片國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程提速

　　關(guān)于購(gòu)買光刻機(jī)的消息還有更多。就在5月21日，上海華力集成電路制造有限公司建設(shè)和營(yíng)運(yùn)的12英寸集成電路生產(chǎn)線項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)首臺(tái)工藝設(shè)備——光刻機(jī)搬入， 此次搬入的首臺(tái)工藝設(shè)備為阿斯麥公司的NXT 1980Di光刻機(jī)，是目前中國(guó)大陸集成電路生產(chǎn)線上最先進(jìn)的浸沒(méi)式光刻機(jī)。據(jù)了解，華力12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目總投資387億元人民幣，被列為國(guó)家《“十三五”集成電路產(chǎn)業(yè)重大生產(chǎn)力布局規(guī)劃》。該項(xiàng)目主要從事邏輯芯片生產(chǎn)，重點(diǎn)服務(wù)國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)企業(yè)先進(jìn)芯片的制造需求，并滿足部分事關(guān)國(guó)家信息安全的重點(diǎn)芯片制造。根據(jù)規(guī)劃，該項(xiàng)目將建成月產(chǎn)能4萬(wàn)片的12英寸集成電路芯片生產(chǎn)線，工藝覆蓋28-14納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)。項(xiàng)目計(jì)劃于2022年底達(dá)到產(chǎn)能目標(biāo)。

　　除了資金和技術(shù)人才的投入外，為推進(jìn)《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)推進(jìn)綱要》落地，我國(guó)將針對(duì)集成電路先進(jìn)工藝和智能傳感器創(chuàng)新能力不足等問(wèn)題，出臺(tái)一系列政策“組合拳”，加速多個(gè)重點(diǎn)關(guān)鍵產(chǎn)品和技術(shù)的攻關(guān)，以此促進(jìn)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的快速健康發(fā)展，并縮小我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)和世界先進(jìn)水平的差距。據(jù)國(guó)家制造強(qiáng)國(guó)建設(shè)戰(zhàn)略咨詢委員會(huì)制定的產(chǎn)業(yè)發(fā)展目標(biāo)，到2020年我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)與國(guó)際先進(jìn)水平的差距將逐步縮小，全行業(yè)銷售收入年均增速超過(guò)20%。到2030年，集成電路產(chǎn)業(yè)鏈主要環(huán)節(jié)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，一批企業(yè)進(jìn)入國(guó)際第一梯隊(duì)，產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)跨越式發(fā)展。我國(guó)“國(guó)產(chǎn)替代”的研發(fā)能力和生產(chǎn)進(jìn)度都在不斷提速中。