MEMS

詞語解釋

MEMS是Micro-Electro-Mechanical Systems的縮寫，是一種微機電系統(tǒng)，它是由微小的機械結(jié)構(gòu)和集成電路組成的一種系統(tǒng)，它可以在微小的尺寸內(nèi)實現(xiàn)復雜的功能。 MEMS在通信中的應用非常廣泛，它可以用于傳感器、激光器、微機械元件、微電子元件等。MEMS傳感器可以檢測外界的物理變化，如溫度、壓力、濕度、光照等，并將這些信息轉(zhuǎn)換為電信號，以便進行信息處理和傳輸。MEMS激光器可以將電信號轉(zhuǎn)換為光信號，用于光纖通信系統(tǒng)。MEMS微機械元件可以用于制造微型機械設備，如微型機械臂、微型機械軸等，以實現(xiàn)機械自動化控制。MEMS微電子元件可以用于制造微型電子設備，如微型電子傳感器、微型電子控制器等，以實現(xiàn)電子自動化控制。 MEMS在通信中的應用還包括用于制造通信設備的微型元件，如用于制造微型電纜的微型電纜元件、用于制造微型無線電發(fā)射機的微型無線電發(fā)射機元件等。MEMS在通信中的應用還可以用于制造微型通信系統(tǒng)，如微型無線網(wǎng)絡、微型衛(wèi)星通信系統(tǒng)等，以實現(xiàn)小型通信系統(tǒng)的設計和制造。總之，MEMS在通信中的應用非常廣泛，可以用于傳感器、激光器、微機械元件、微電子元件、微型元件、微型通信系統(tǒng)等，它可以幫助我們實現(xiàn)更高效、更精確的通信系統(tǒng)。

MEMS是微機電系統(tǒng)的縮寫。MEMS主要包括微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應的處理電路等幾部分，它是在融合多種微細加工技術(shù)，并應用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎上發(fā)展起來的高科技前沿學科。

MEMS技術(shù)的發(fā)展開辟了一個全新的技術(shù)領域和產(chǎn)業(yè)，采用MEMS技術(shù)制作的微傳感器、微執(zhí)行器、微型構(gòu)件、微機械光學器件、真空微電子器件、電力電子器件等在航空、航天、汽車、生物醫(yī)學、環(huán)境監(jiān)控、軍事以及幾乎人們所接觸到的所有領域中都有著十分廣闊的應用前景。MEMS技術(shù)正發(fā)展成為一個巨大的產(chǎn)業(yè)，就象近20年來微電子產(chǎn)業(yè)和計算機產(chǎn)業(yè)給人類帶來的巨大變化一樣，MEMS也正在孕育一場深刻的技術(shù)變革并對人類社會產(chǎn)生新一輪的影響。目前MEMS市場的主導產(chǎn)品為壓力傳感器、加速度計、微陀螺儀、墨水噴咀和硬盤驅(qū)動頭等。大多數(shù)工業(yè)觀察家預測，未來5年MEMS器件的銷售額將呈迅速增長之勢，年平均增加率約為18%，因此對對機械電子工程、精密機械及儀器、半導體物理等學科的發(fā)展提供了極好的機遇和嚴峻的挑戰(zhàn)。

微機電系統(tǒng)MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是一種全新的必須同時考慮多種物理場混合作用的研發(fā)領域，相對于傳統(tǒng)的機械，它們的尺寸更小，最大的不超過一個厘米，甚至僅僅為幾個微米，其厚度就更加微小。采用以硅為主的材料，電氣性能優(yōu)良，硅材料的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當，密度與鋁類似，熱傳導率接近鉬和鎢。采用與集成電路（IC）類似的生成技術(shù)，可大量利用IC生產(chǎn)中的成熟技術(shù)、工藝，進行大批量、低成本生產(chǎn)，使性價比相對于傳統(tǒng)“機械”制造技術(shù)大幅度提高。

完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。其目標是把信息的獲取、處理和執(zhí)行集成在一起，組成具有多功能的微型系統(tǒng)，集成于大尺寸系統(tǒng)中，從而大幅度地提高系統(tǒng)的自動化、智能化和可靠性水平。

沿著系統(tǒng)及產(chǎn)品小型化、智能化、集成化的發(fā)展方向，可以預見：MEMS會給人類社會帶來另一次技術(shù)革命，它將對21世紀的科學技術(shù)、生產(chǎn)方式和人類生產(chǎn)質(zhì)量產(chǎn)生深遠影響，是關(guān)系到國家科技發(fā)展、國防安全和經(jīng)濟繁榮的一項關(guān)鍵技術(shù)。

制造商正在不斷完善手持式裝置，提供體積更小而功能更多的產(chǎn)品。但矛盾之處在于，隨著技術(shù)的改進，價格往往也會出現(xiàn)飆升，所以這就導致一個問題：制造商不得不面對相互矛盾的要求——在讓產(chǎn)品功能超群的同時降低其成本。

解決這一難題的方法之一是采用微機電系統(tǒng)，更流行的說法是MEMS，它使得制造商能將一件產(chǎn)品的所有功能集成到單個芯片上。MEMS對消費電子產(chǎn)品的終極影響不僅包括成本的降低、而且也包括在不犧牲性能的情況下實現(xiàn)尺寸和重量的減小。事實上，大多數(shù)消費類電子產(chǎn)品所用MEMS元件的性能比已經(jīng)出現(xiàn)的同類技術(shù)大有提高。雖然MEMS過去只限于汽車、工業(yè)和醫(yī)療應用，但據(jù)調(diào)查公司估計：“MEMS消費類電子產(chǎn)品的銷售額將在2005年前達到15億美元”。

手持式設備制造商正在逐漸意識到MEMS的價值以及這種技術(shù)所帶來的好處——大批量、低成本、小尺寸，而且開始轉(zhuǎn)向成功的MEMS公司，其所實現(xiàn)的成本削減幅度之大，將影響整個消費類電子世界，而不僅是高端裝置。

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