先進(jìn)光學(xué)技術(shù) 助力行業(yè)發(fā)展

——奧林巴斯亮相SEMICON China 2018

隨著計(jì)算機(jī)與網(wǎng)絡(luò)的發(fā)展，第4代移動通訊技術(shù)的普及，數(shù)字化大大的方便了我們的生活。而數(shù)字化生活進(jìn)程的背后，隱藏著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的巨大功勛。作為數(shù)字化生活的幕后英雄，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展一直廣受關(guān)注。2018年3月14日至16日，全球最大的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)盛會SEMICON China 2018在上海新國際博覽中心再次拉開了帷幕。展會匯集了超過1000家的參展企業(yè)帶來的最新技術(shù)和先進(jìn)產(chǎn)品，為中國半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)交流與合作提供了專業(yè)的平臺。作為全球半導(dǎo)體行業(yè)光學(xué)顯微鏡的主要供應(yīng)商，奧林巴斯（中國）有限公司攜多款半導(dǎo)體行業(yè)檢測用顯微鏡隆重出席了此次展會。

SEMICON China 2018奧林巴斯展臺

卓越精準(zhǔn)測量 快速數(shù)據(jù)獲取

上個世紀(jì)各種半導(dǎo)體器件大規(guī)模的發(fā)明，對現(xiàn)代的信息技術(shù)革命起到了至關(guān)重要的作用。進(jìn)入21世紀(jì)后，全世界都在加快信息化建設(shè)步伐。源于這種需要，半導(dǎo)體行業(yè)迎來了更快的發(fā)展。而行業(yè)快速發(fā)展的背后，少不了研發(fā)、生產(chǎn)及品質(zhì)保證人員對良品率的提升和可靠性的保證所做的努力。2017年11月3日，奧林巴斯正式發(fā)布的全新3D測量激光顯微鏡新品——OLS5000，為半導(dǎo)體行業(yè)帶來了更專業(yè)、便捷的觀測體驗(yàn)。此次展會上，奧林巴斯首次公開展示了這款明星產(chǎn)品，為到場觀眾提供了近距離觀摩的機(jī)會。

首次公開展出的OLS5000顯微鏡

現(xiàn)場，工作人員針對產(chǎn)品的先進(jìn)技術(shù)特性進(jìn)行了詳細(xì)的講解，并回答了觀眾提出的各種問題。據(jù)工作人員介紹，與一般顯微鏡采用鹵素場光源不同的是，OLS5000搭載的共聚焦技術(shù)采用了短波長激光點(diǎn)照明的方式。這種照明方式使所有通過焦平面反射入顯微鏡的光線都要經(jīng)過微小的針孔，大大減少了其他光線的干擾，提高了圖像清晰度。利用OLS5000可容納12英寸樣品的超大平臺，可測量深度高達(dá)25毫米凹坑的超長工作距離物鏡，用戶可以對結(jié)構(gòu)復(fù)雜的半導(dǎo)體樣品進(jìn)行觀測。此外，OLS5000的數(shù)據(jù)獲取和處理功能也極大地簡化了用戶的工作。OLS5000采用計(jì)算機(jī)直觀控制，其搭載的掃描算法在對樣品不同層面的掃描和計(jì)算機(jī)處理后，就可獲得樣品的3D圖像。無論在IC design、Fab制造廠還是在芯片的封裝與測試，表面貼裝等環(huán)節(jié)，都可利用這一特性，全面觀測和測量樣品的形貌，進(jìn)行品質(zhì)控制和失效分析。OLS5000還具有自動數(shù)據(jù)采集功能，用戶只需在放置樣品后按動按鈕，設(shè)備就可以自動工作，省去了復(fù)雜的設(shè)置調(diào)整工作，有效的簡化了工作流程。

尖端光學(xué)科技 推動行業(yè)發(fā)展

除了最新的OLS5000顯微鏡，奧林巴斯展出的顯微鏡解決方案DSX510、STM7、MX63和Auto wafer loader也吸引了眾多觀眾駐足。奧林巴斯全新的操作軟件，令用戶友好性和使用體驗(yàn)大大提升，廣受好評。為了方便用戶的操作，奧林巴斯數(shù)碼顯微鏡DSX510就采用了便捷的觸摸面板操作，即使是首次使用顯微鏡的用戶，也能輕松快速地獲得高質(zhì)量的圖像和精確的測量結(jié)果。在放大圖像觀察某一具體位置的細(xì)節(jié)時，用戶往往不容易掌握被觀測部位在樣品上所占的位置。而DSX510的宏觀地圖功能會在一個單獨(dú)的窗口中記錄下全視野圖像，方便用戶發(fā)現(xiàn)目標(biāo)。DSX510還為用戶提供了各種各樣的觀察方法，只需輕點(diǎn)鼠標(biāo)，便可在多種觀察方法間切換，呈現(xiàn)滿足觀測需要的高品質(zhì)圖像。而動態(tài)范圍成像功能（HDR）更是賦予了DSX510精確調(diào)整樣品表面不同區(qū)域亮度差的功能，利用這一特性，可以獲得更加精確真實(shí)的圖像效果。

奧林巴斯展臺吸引眾多觀眾駐足

此外，現(xiàn)場展出的STM7采用的當(dāng)前最先進(jìn)光學(xué)顯微鏡中使用的無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)，保證了獲得的圖像具有高分辨率和高對比度，并最大限度地消除了相差，確保實(shí)現(xiàn)對微小細(xì)節(jié)的高精度測量。BX53M采用的模塊化設(shè)計(jì)，為工業(yè)應(yīng)用和半導(dǎo)體監(jiān)測提供了多樣化的解決方案。通過與奧林巴斯Stream軟件的集成，BX53M為用戶提供了從觀察到報告創(chuàng)建的無縫工作流程，極大地縮短了工作時間。參與展會的觀眾在觀摩了奧林巴斯展出的顯微鏡產(chǎn)品后表示，奧林巴斯的顯微鏡在業(yè)內(nèi)憑借卓越的成像效果、簡單的操作和良好的人機(jī)工程設(shè)計(jì)擁有著良好的聲譽(yù)，此次近距離接觸到這些產(chǎn)品，更深刻地感受到了奧林巴斯顯微鏡產(chǎn)品的卓越特性。

自1920年自主研發(fā)了日本第一臺光學(xué)顯微鏡“旭號”以來，奧林巴斯始終走在這個領(lǐng)域的最前沿，為半導(dǎo)體行業(yè)提供了精密、專業(yè)的顯微鏡產(chǎn)品。與此同時，奧林巴斯植根中國市場，不斷提升企業(yè)在技術(shù)服務(wù)、行業(yè)交流和人才培養(yǎng)方面的投入，為中國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展做出了突出的貢獻(xiàn)。未來，奧林巴斯將繼續(xù)為中國半導(dǎo)體行業(yè)提供更多專業(yè)的產(chǎn)品，為行業(yè)和社會的發(fā)展貢獻(xiàn)企業(yè)力量。