破解“卡脖子”難題！清華新成果有望為EUV光刻機(jī)提供新技術(shù)路線

發(fā)布: 2021-02-26 21:37 | 作者: 檸檬樹 | 來(lái)源: 移動(dòng)通信網(wǎng) | 字體:  小  中  大 

據(jù)清華大學(xué)官網(wǎng)消息，2月25日，清華大學(xué)工程物理系教授唐傳祥研究組與來(lái)自德國(guó)的合作團(tuán)隊(duì)在《自然》上發(fā)表了題為《穩(wěn)態(tài)微聚束原理的實(shí)驗(yàn)演示》的研究論文，報(bào)告了一種新型粒子加速器光源“穩(wěn)態(tài)微聚束”（SSMB）的首個(gè)原理驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)。唐傳祥指出，EUV光刻機(jī)的自主研發(fā)還有很長(zhǎng)的路要走，基于SSMB的EUV光源有望解決自主研發(fā)光刻機(jī)中最核心的“卡脖子”難題。這需要SSMB EUV光源的持續(xù)科技攻關(guān)，也需要上下游產(chǎn)業(yè)鏈的配合，才能獲得真正成功。

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