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針對中芯國際與光刻機公司阿斯麥簽下的12億美元采購單，荷蘭阿姆斯特丹時間3月3日，阿斯麥發(fā)布公告稱，該采購協(xié)議所涉內(nèi)容是DUV光刻設(shè)備。
和高端光刻機EUV(極紫外光刻技術(shù))不同，DUV(深紫外線光刻技術(shù))屬于阿斯麥公司中端產(chǎn)品。3月4日，一位中芯國際人士對記者表示，DUV光刻設(shè)備能支撐中芯國際在傳統(tǒng)制程產(chǎn)能上的擴產(chǎn)，為行業(yè)釋放一部分傳統(tǒng)產(chǎn)能，傳統(tǒng)產(chǎn)能當(dāng)下全球緊缺。另一方面，該人士稱，采購DUV無法很好地推進(jìn)公司先進(jìn)工藝的研發(fā)，例如例如7nm/5nm芯片。
實際上，中芯國際大部分收入來自傳統(tǒng)產(chǎn)能工藝，這些產(chǎn)能主要用于制造電源管理、超低功耗、射頻芯片等。根據(jù)2020年財報會，中芯國際的傳統(tǒng)產(chǎn)能在去年實現(xiàn)量價齊升，公司曾一度擴產(chǎn)仍未滿足客戶需求。由此來看，DUV幫助擴產(chǎn)傳統(tǒng)產(chǎn)能，對中芯國際是一項利好，而傳統(tǒng)產(chǎn)能的盈利性，也代表了中芯國際在短期的一個增長空間。
上述人士稱，另一方面，DUV設(shè)備卻無法很好地推進(jìn)公司先進(jìn)工藝的研發(fā)，因為若一項先進(jìn)工藝只有DUV設(shè)備支持，則無法做出良率及格的芯片，也無法達(dá)到國際大廠的性能水平。該人士稱，如果僅從企業(yè)經(jīng)營角度看，該類先進(jìn)芯片也可以通過降價方式出售，成為很多國產(chǎn)廠家退而求其次的選擇。
該人士稱，相比之下，EUV設(shè)備(極紫外光刻技術(shù))則可以很好地推升先進(jìn)工藝的良率和性能。根據(jù)公開材料，目前EUV設(shè)備正受國際協(xié)議限制形成了出口管制。
